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富加镓业实现 6 英寸氧化镓晶锭技术突破,厚度超 70mm

文 / 小亚 2026-08-23 12:01:37 来源:亚汇网

据介绍,晶锭厚度是衡量单晶生长技术成熟度与产业化程度的关键指标,更厚的晶锭意味着单根晶体可切割出更多衬底片,直接降低单片成本。该6英寸晶锭厚度经中国计量科学研究院权威检测,晶锭厚度平均值70.58mm,极差0.12mm,已超过主流碳化硅晶锭20-50mm的高度。平湖实验室对VB氧化镓衬底进行了HRXRD双晶摇摆曲线测试,结果如下:5个点位的FWHM均值为38.71arcsec,均低于50arcsec,表明衬底整体结晶质量优异。此外,电阻率是影响器件正向导通效果的关键参数,其均匀性决定了器件性能的一致性,是量产良率的重要保障。中国计量科学研究院对该6英寸衬底进行了电学性能检测,电阻率均值:16.4(mΩ·cm),均匀性:6.8%。测试结果表明,该电学性能可满足碳化硅行业对衬底的要求。亚汇网注意到,第二十届全国晶体生长与材料学术会议于2026年8月22-25日在山东省济南市南郊宾馆召开,由中国硅酸盐学会晶体生长与材料分会主办、山东大学承办。届时,富加镓业将在会议同期展览中设立展台,携带众多款不同晶向的2-8英寸氧化镓衬底及外延产品集中亮相,涵盖(100)、(010)、(001)、(011)等多种晶面取向,▲2inch氧化镓衬底▲6inch氧化镓衬底

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