北方华创发布第三代12英寸全石英立式氮化硅LPCVD设备
文 / 风致
2026-07-31 09:20:32
来源:亚汇网
【北方华创发布第三代12英寸全石英立式氮化硅LPCVD设备】 近日，北方华创正式面向全球市场推出第三代12英寸全石英立式氮化硅低压化学气相沉积（LPCVD）设备SICRIUS SN302D Ⅱ。该设备助推北方华创深度切入存储、先进逻辑、硅光集成、高端传感器等高景气赛道。
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